TY  JOUR
TI  ПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ  ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ  С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКА
KW  нитридные гетероструктуры AlN
KW  AlGaN
KW  оптоэлектронные приборы УФ-диапазона
KW  СВЧ транзисторы
KW  плотность дислокаций
JO  Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
AU  Мамаев, В..
AU  Новиков, С..
AU  Петров, С..
AU  Зайцев, С..
AU  Прохоренков, Д.С.
PY  2016
IS  1
PB  Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова