TY  JOUR
TI  ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
KW  покрытия на стекле
KW  оксид титана
KW  анатаз
KW  рутил
KW  магнетронное осаждение
KW  вакуумный фотонный отжиг
JO  Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
AU  Ващилин, В..
AU  Кривоножко, Е.В.
PY  2020
IS  8
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова