%0 Journal Article %T Методика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке %A Савин, А.. %K векторный анализатор цепей, зондовая станция, измерения на подложке, линия передачи, верификация, эффективные параметры, сигматочечное преобразование %J ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ %D 2019 %N 2 %P 10 %I ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»