TY JOUR TI Исследование механических и микрогеометрических характеристик покрытия TiN на подложке из стали 40Х, нанесенного методом ионно-плазменного напыления KW шероховатость KW твердость KW модуль Юнга KW измерение толщины покрытия KW инструментальное индентирование KW сканирующая зондовая микроскопия. JO Вестник Донского государственного технического университета AU Кренёв , Л.И. AU Садырин, Е.В. AU Митрин, Б.И. AU Айзикович, С.М. PY 2016 IS 15 PB Донской государственный технический университет