TY  CONF
TI  ОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТА
KW  ионная имплантация
KW  моделирование
KW  p-n переход
KW  распределение концентрации примеси
JO  МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ
AU  Плотникова, Е.Ю.
AU  Винокуров, А.А.
AU  Арсентьев, А.В.
PY  2024
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова