01221naa#a2200229#i#4500001001500000003001700015005001700032011001400049100004100063102000700104200024400111210016900355215001000524608004500534675006700579700007000646700006600716700005600782700005800838700005600896856003900952RU\\bibl\41062/ru/manage/index20250225153207.2##a2219-0767##a20201207b2020####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОсобенности технологического процесса изготовления микросхем космического назначения по технологии КМОП КНСeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2020##a5 с.##aЖурнальная статья2local##aПрикладные науки. Общие вопросы. 60#1aЗольниковgВладимир Константинович#1aЕвдокимоваgСветлана Анатольевна#1aЖуравлеваgИрина Витальевна#1aМаклаковаgЕлена Альбертовна#1aИлунинаgАнна Александровна4#atest.editorum.ruu/ru/manage/index