00978naa#a2200217#i#4500001001500000003001700015005001700032011001400049100004100063102000700104200014200111210013900253215001000392608004500402675004400447700005400491700005800545700006200603700005600665856003900721RU\\bibl\53379/ru/manage/index20250325151739.2##a2587-9936##a20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4eЖурнальная статья1#aСевастопольcФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»d2022##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aФотоэлектроника. 621.383#1aКулиничgИван Владимирович#1aСомогонянцgАлина Алексеевна#1aШестериковgЕвгений Викторович#1aМоховиковgДенис Максимович4#atest.editorum.ruu/ru/manage/index