00978naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\53379 /ru/manage/index 20250324192312.1 2587-9936 20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca RU ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4 Журнальная статья Севастополь ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» 2022 6 с. Журнальная статья local Фотоэлектроника. 621.383 Кулинич Иван Владимирович Сомогонянц Алина Алексеевна Шестериков Евгений Викторович Моховиков Денис Максимович test.editorum.ru /ru/manage/index