Process of formation of thin films by centrifugation is investigated. The mathematical model of a layered current of liquid is developed and modeling of formation of splashes when forming covering is carried out.
mathematical modeling, centrifugation, thin films, photolithography, splashes, layered flow.
СЕКЦИЯ: «ЭФФЕКТИВНЫЕ МЕТОДЫ И ИНСТРУМЕНТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МОДЕЛЕЙ СИСТЕМ И МЕХАНИЗМОВ»
УДК 658.0.12.011.56.004.14:0/9
ВЛИЯНИЕ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ НА ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ПЛЕНОК ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕМ
THE EFFECT OF ANGULAR VELOCITY ON THE FORMATION OF DEFECTS DURING THE FORMATION OF FILMS BY CENTRIFUGATION
Бородина Е.А., ассистент
ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный университет
инженерных технологий»
г. Воронеж, Россия
bestroof@inbox.ru
DOI: 10.12737/6749
Аннотация: Исследуется процесс формирования тонких пленок центрифугированием. Разработана математическая модель слоистого течения жидкости и проведено моделирование образования брызг при формировании покрытия.
Summary: Process of formation of thin films by centrifugation is investigated. The mathematical model of a layered current of liquid is developed and modeling of formation of splashes when forming covering is carried out.
Ключевые слова: математическое моделирование, центрифугирование, тонкие пленки, фотолитография, брызги, слоистое течение.
Keywords: mathematical modeling, centrifugation, thin films, photolithography, splashes, layered flow.
1. Abramov G.V. Mathematical modelling of processes for forming thin coatings by using centrifuges to determine the judicious regime / Abramov G.V., Bityukov V.K., Popov G.V.. Inzhenerno-fizicheskiy zhurnal. 1994. T. 66. № 5. S. 561-567.
2. Zaytsev A.I., Bytev D.O. / Udarnye protsessy v dispersno-plenochnykh sistemakh. - M.: Khimiya. - 1994.
